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    共轭焦激光扫瞄自准直仪量测 共轭焦激光扫瞄自准直仪是利用激光光源,在光学基础上采用光源焦平面与观察者焦平面共轭成相的原理, 再利用电脑对所扫描分析的对象进行数位图像处理的观察和分析,具有较高的水平解析度, 并可利用电脑分析重建三维影像,但价格相当昂贵。镍模仁一方面表面反射特性佳,且为凸特征, 以共轭焦激光扫瞄自准直仪扫瞄镍量测效果还不错。 但在量测下凹V沟如矽基蚀刻时,在V沟底部的扫瞄则出现明显杂讯与失真的现象。 而于透光物件如PMMA导光板量测时,扫瞄轨迹的杂讯非常大,且LGP为下凹特征, 在V形下凹的部分几乎无法辨识,以致V沟深度与角度无法准确量测


     
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