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    纳米解析度的穿透式电子自准直仪-测量仪器 纳米级空间解析度的穿透式电子光电准直仪术(transmission electron microscopyTEM)与扫描探针光电准直仪术(scanning probe microscopy,SPM) 是纳米量测技术的两大轴心技术,前者源自于电子光学理论基础; 后者则表面科学的极致表现。扫描探针自准直仪技术现已成为辅助纳米科技发展的关键检测技术, 其特色为讯号灵敏度极高,并可提供高空间解析度的试片表面讯号。 自扫描穿遂自准直仪(scanning tunneling microscope, STM)问世并用于观测矽面的表面形貌影像,短短二十多年之间, 扫描探针自准直仪技术已被拓展并广泛运用于量测分析电、光、热、力、生、磁等各方面的表面微观物理性质, 甚至亦可用于纳米加工与制造的领域, 自扫描穿遂自准直仪(scanning tunneling microscope,STM)问世以来,短短二十多年之间, 结合各种不同性质的纳米探针,已发展出许多不同用途的扫描探针自准直仪技术, 并成功应用于电、光、力、磁等各种微观物理性质的量测分析上,如今,扫描探针自准直仪技术已成为世界上发展纳米量测技术的趋势主流。


     
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