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    扫描电子光电准直仪术( SEM )

    穿透电子光电准直仪术( TEM )

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    横向解析度

    300 nm

    1 nm

    原子级

    原子级

    纵向解析度

    20 nm

    10 nm

    原子级

    成像范围

    1mm

    1mm

    0.1mm

    0.1mm

    成像环境

    无限制

    真空

    真空

    无限制

    样品准备

    简单

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    手续繁复

    简单

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