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使用钨丝来发射电子束扫描式电子自准直仪-----新闻标题
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要使用「奈米微小製造技术」来製作我们所需要的结构,第一步便是先要能够「看到原子」,目前人类还无法用肉眼直接看到原子,因此都是使用间接的方式,利用仪器的辅助来观察原子,这种仪器称为「电子自准直仪(EM:Electron Microscopy)」,电子自准直仪依照原理的不同又可以分为数种:

扫描式电子自准直仪(SEM:Scanning Electron Microscopy)

使用钨丝来发射电子束(热游离),当电子束照射到物体表面时,就如同光束照射到物体表面,当物体表面凸出时反射电子束较多,故侦测器侦测到较强的讯号(比较亮),如图 4-54(a)所示;当物体表面凹下时反射电子束较少,故侦测器侦测到较弱的讯号(比较暗),如图4-54(b)所示,同学们一定有这样的经验,地上的凹洞比较暗,就是因为太阳光照射到凹洞内反射的光比较少的缘故。将这些强弱的讯号画成二度空间的灰阶图形,就可以得到如图4-54(c)所示的扫描式电子自准直仪(SEM)照片(本书前面所有的灰阶照片均为扫描式电子自准直仪照片),扫描式电子自准直仪(SEM)的解析度很高,可以用来观察大约100nm(奈米) 的结构,工具自准直仪,但是只能观察物体表面的高低起伏,所以表面平整的物体无法使用。

 
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